助力智能工廠過程在線分析、工藝優化、降本增效、節約能源、完成碳達峰目标

半導體制造業由于在制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材，再加上無塵室的密閉作業環境及回風系統,被美國(FMS)組織列 為“極高風險”的行業。作為半導體晶圓代工廠氣體的使 用者，每一位工作人員都應該在使用前對各種危險氣體 的安全數據加以了解，并且應該知道如何應對這些氣體外洩時的緊急處理程序。

半導體産業産房中存在大量特細氣體管道，在安裝完成後，必須經過嚴格的檢測測試才能投入正 常使用。特細氣體管路的五項必備分析測試分别 為: 壓力/氨側漏/含塵量/水分氧分分析檢測。隻有 當以上五項測試檢測全部符合标準廠房才可投入使 用，否則會有極大的潛在安全以及經濟風險。

根據現行國家标準《特種氣體系統工程技術規範》GB50646-2011和《有毒氣體檢測報警儀技術條件及檢驗方法》HG23006中的有關規定，同時結合半導體工廠使用氣體檢測裝置産品的快速響應要求作出檢測報警響應時間規定。要求處于抽風口或環境點安裝毒性氣體偵測器及系統，若發生任何有毒氣體的洩漏将會被氣體偵測系統所偵測到，這個控制系統将根據氣體外洩對人體 危害的大小來确定整個氣體輸送系統的相關互鎖動作，嚴重時緊急關閉上遊所有氣源，同時會驅動中央控制室和現場的相關報警系統，甚至會驅動全廠的自動語音廣播系統通知立即疏散，要求相關人員迅速撤離報警區域。因此隻要工程技術人員嚴格按照所制定的标準作業程序操作，所有這些安全裝置都将确保人員不會有安全上的顧慮。

半導體行業氣體檢測主要範圍
一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃 易爆氣體傳感器，是針對半導體制造業毒氣監測應用的專業級傳感器産品. 傳感器壽命長，可長時間穩定持續監 測，可大大降低半導體制造業毒氣監測成本，實現大範圍安裝應用，為半導體制造業毒氣監測提供了切實可行的安全生産監測解決方案。

半導體電子廠房常見危險性氣體種類

半導體電子廠房氣體檢測及監視系統
在半導體電子廠房加工過程中，高危險物質，尤其是可燃氣體、有毒氣體等氣體的使用日益增加。不可避免的氣體洩漏事件偶有發生，進而對工廠及其雇員和附近居民及環境産生潛在危害。全球範圍内因氣體洩漏所導 緻的燃燒、爆炸和窒息、人員傷亡等事故，不斷地提示着人們這個問題的存在。氣體檢測及監視系統随之誕生， 旨在氣體洩漏早期及時發現、預警，幫助人們獲得更多時間去預防和采取補救行動。
目前，應用于半導體産業的特種氣體有110餘種，常用的有20-30種，在原材料需求占比中高達14%。

半導體産業中常見氣體檢測應用：
維持潔淨度： 付氮封、充吹（Purge）
矽晶片制造：O2, HCL, H2, Ar
氧化：O2, DCE
摻雜：PH3,AsH3, BCl3
微影：KrF, ArF, F2
蝕刻：Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
薄膜：Ar (物理氣相沉積PVD)， SiH4, N2O, NH3, WF6 (化學氣相沉積CVD)

舒茨股份提供半導體行業内氣體濃度定量與控制設備，為半導體行業提供一站式的解決方案，以及一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCl、氯氣Cl2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害,易燃易爆氣體傳感器、報警儀、變送器等控制設備，為半導體前端生産工藝保駕護航。